一、核心測(cè)量原理,響應(yīng)快速靈敏
FSM3系列采用硅微加工技術(shù)打造的白金傳感器芯片,核心通過(guò)熱分布變化檢測(cè)流量。傳感器部與硅基板實(shí)現(xiàn)熱絕緣設(shè)計(jì),熱容量極小,不僅大幅提升了響應(yīng)速度,還增強(qiáng)了測(cè)量靈敏度。其工作原理為:傳感器部?jī)?nèi)置雙溫度傳感器與中間加熱器,無(wú)氣流時(shí)溫度分布以加熱器為中心對(duì)稱;有氣流時(shí)對(duì)稱性被破壞,上下游溫度差轉(zhuǎn)化為電阻值差,隨流量變化而變動(dòng),逆向流動(dòng)時(shí)溫差顛倒,因此可精準(zhǔn)檢測(cè)雙向流量,尤其適用于小流量測(cè)量場(chǎng)景。響應(yīng)時(shí)間在設(shè)定OFF時(shí)可低至50msec以下,且響應(yīng)時(shí)間可在50msec~1.5sec間選擇,能有效縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間。
二、測(cè)量性能優(yōu)異,覆蓋范圍廣泛
該系列具備高精度測(cè)量能力,顯示精度達(dá)±3%F.S.以內(nèi)(二次側(cè)大氣開放),重復(fù)精度±1%F.S.以內(nèi)(二次側(cè)大氣開放),溫度特性±0.2%F.S./℃以內(nèi)(15~35℃、25℃基準(zhǔn)),壓力特性±5%F.S.以內(nèi),確保在不同工況下測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。流量測(cè)量范圍覆蓋極廣,單向測(cè)量從15mL/min至1000L/min,雙向測(cè)量可實(shí)現(xiàn)-1000~-30mL/min與30~1000mL/min(量程機(jī)型)的全范圍覆蓋,能適配從微小流量到大型流量的各類測(cè)量需求。同時(shí)支持流量累計(jì)與峰值保持功能,累計(jì)顯示范圍可根據(jù)機(jī)型覆蓋0~±9999999mL至0~±9999999L,滿足流量統(tǒng)計(jì)需求。
三、多氣體適配,場(chǎng)景兼容性強(qiáng)
FSM3系列具備強(qiáng)大的氣體適配能力,LCD顯示型(滿量程200L/min以下機(jī)型)支持氣體種類切換功能,可通過(guò)本體按鈕切換空氣、氮?dú)?、氬氣、二氧化碳及氬?0%+二氧化碳20%混合氣體,切換后模擬輸出可自動(dòng)匹配對(duì)應(yīng)氣體特性。同時(shí)提供氧氣專用機(jī)型(本體材質(zhì)編碼5),采用禁油處理規(guī)格,專為氧氣測(cè)量場(chǎng)景設(shè)計(jì),需注意氧氣型不可選擇潔凈規(guī)格,且通入氧氣前需確保未通入其他流體。適用流體需為不含腐蝕成分、灰塵及油霧的干燥氣體,壓縮空氣需符合JIS B 8392-1:2012相關(guān)等級(jí)要求。
四、顯示與輸出靈活,功能配置豐富
系列提供兩種顯示方案:LCD顯示型配備4位+4位雙色LCD,支持流量數(shù)值清晰顯示;指示條顯示型采用LED指示條,直觀反饋流量狀態(tài)。輸出方式多樣,模擬輸出支持1-5V電壓輸出(負(fù)荷阻抗50kΩ以上)與4-20mA電流輸出(負(fù)荷阻抗0~300Ω),開關(guān)輸出可選NPN或PNP集電極開路輸出(50mA)。部分機(jī)型具備設(shè)定復(fù)制功能,可通過(guò)專用端子快速實(shí)現(xiàn)多臺(tái)設(shè)備參數(shù)統(tǒng)一,提升批量調(diào)試效率。此外,還支持機(jī)種判別信號(hào)輸出,適配系統(tǒng)集成需求。
五、防護(hù)等級(jí)高,環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)
產(chǎn)品防護(hù)等級(jí)達(dá)IP65,可在塵埃較多或有水滴飛濺的環(huán)境下安全使用,適配惡劣工業(yè)場(chǎng)景。工作環(huán)境溫度范圍為0~50℃(不得結(jié)露),保存溫度-10~60℃,環(huán)境濕度耐受90%RH以下,壓力范圍支持-0.09~1.00MPa(部分機(jī)型-0.09~0.75MPa),耐壓力達(dá)1.5MPa,具備較強(qiáng)的環(huán)境耐受能力。同時(shí)提供潔凈規(guī)格選項(xiàng),P70規(guī)格采用防發(fā)塵包裝(潔凈工作臺(tái)1000級(jí)以上封裝),P80規(guī)格額外對(duì)氣體接觸部進(jìn)行脫脂清洗,適配高潔凈需求場(chǎng)景;部分機(jī)型支持ATEX對(duì)應(yīng),符合防爆相關(guān)要求。
六、安裝便捷,適配性靈活
安裝方式靈活多樣,支持垂直與水平自由安裝,無(wú)需嚴(yán)格限制安裝方向(縱向安裝需注意對(duì)流影響)。配管口徑選擇豐富,涵蓋Rc、G、NPT多種螺紋規(guī)格,從1/8到1/2不等,可精準(zhǔn)匹配不同管路系統(tǒng)。多數(shù)機(jī)型無(wú)需特殊直管導(dǎo)入部,500L/min、1000L/min機(jī)型僅需使用內(nèi)徑9mm以上配管即可保障測(cè)量精度,大幅降低安裝空間與管路設(shè)計(jì)要求。產(chǎn)品重量輕,不同配管口徑機(jī)型重量在580~750g之間,便于集成到各類設(shè)備中。
七、安全可靠,符合多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)
內(nèi)置電源逆接保護(hù)回路,可有效防護(hù)誤接線導(dǎo)致的設(shè)備損壞,提升使用安全性。電氣性能穩(wěn)定,絕緣電阻達(dá)100MΩ(DC500V兆歐表)以上,符合EMC指令(EN55011、EN61000-6-2等),同時(shí)滿足RoHS與CE認(rèn)證要求。核心部件采用高品質(zhì)材質(zhì),傳感器本體為SUS316L不銹鋼,密封件選用FKM氟橡膠等耐腐蝕材質(zhì),確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,流路中不使用樹脂,特別適用于禁止排氣的工序場(chǎng)景。
